島村さん、郭さんがベストプレゼンテーション賞を受賞！

本専攻の島村勇徳さんと郭建麗さん(GUO JIANLI)が、2021年度精密工学会秋季大会学術講演会（2021年 9月 21日（火）～ 27日（月））でアドバンスト・ベストプレゼンテーション賞とベストプレゼンテーション賞を受賞しました。
おめでとうございます。

【アドバンスト・ベストプレゼンテーション賞】
氏名：島村 勇徳（三村研博士2年）
演題：超小型KBミラーを用いた軟X線sub50nm集光システムの開発

【ベストプレゼンテーション賞】
氏名：郭建麗（三村研博士3年）
演題：アクリル定盤と水によるシリコンウエハー表面の平坦化