東京大学工学部精密工学科/東京大学大学院工学系研究科精密工学専攻 三村研究室
（学内） 東京大学本郷キャンパス 工学部14号館834室 ：プロセス開発実験室
東京大学本郷キャンパス 工学部14号館地下室 ：超精密計測室
東京大学浅野キャンパス 理学部 ：高次高調軟X線発生施設
