郭さんの論文が出版・プレスリリースされました
「低環境負荷な表面研磨技術を開発―アクリル板と水だけでガラス表面とシリコン表面を平坦化」当研究室博士課程3年の郭さんの論文が出版・プレスリリースされ、日刊工業新聞に掲載されました。
論文
https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0078593
東京大学工学部プレスリリース紹介
https://www.t.u-tokyo.ac.jp/press/pr2022-03-03-001
「低環境負荷な表面研磨技術を開発―アクリル板と水だけでガラス表面とシリコン表面を平坦化」当研究室博士課程3年の郭さんの論文が出版・プレスリリースされ、日刊工業新聞に掲載されました。
論文
https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0078593
東京大学工学部プレスリリース紹介
https://www.t.u-tokyo.ac.jp/press/pr2022-03-03-001