三村研究室で行っている研究を紹介します。
研究テーマ１：超精密加工法の開発
研究テーマ２：超精密計測法の開発
研究テーマ３：超精密転写法の開発
研究テーマ４：高精度X線ミラーの開発
研究テーマ５：Ｘ線集光・結像光学系の開発
１．超精密加工法の開発
1-1. 有機粒子を利用した精密加工プロセス
1-2. アクリル定盤と水による平坦化プロセス
1-3. 精密成膜プロセス
２．超精密計測法の開発
2-1. 複数の1nm分解能プローブを用いた形状計測
2-2. タイコグラフィ法による形状計測
３．超精密転写法の開発
3-1. 高精度ニッケル電鋳プロセス
3-2. 高精度銅電鋳プロセス
４．高精度X線ミラーの開発
4-1. 高精度回転体型ミラー
回転体型ミラーは回転対称の形状を持つミラーです。竹輪の形状をしており内面をX線が反射します。直接加工をするのは困難であるため反転形状を持つマンドレルを作製し、高精度な電鋳法により形状を転写しミラーを作製します。10nm (RMS)レベルの精度のミラーが作製可能です。製造技術は民間企業に技術移転され実用化に至りました。現在は、更なる高精度化に向けて研究を行っています。
4-2. 高精度自由曲面ミラー
4-3. 超小型X線ミラー
4-4. Ｘ線宇宙望遠鏡用ミラー
５．Ｘ線集光・結像光学系の開発
5-1. 高次高調波軟X線の集光・結像システム
5-2. 軟Ｘ線自由電子レーザの集光・結像システム
5-3. SPring-8での軟X線集光システム