三村研究室 — 東京大学 先端科学技術研究センター 超精密製造科学分野 /工学系研究科 精密工学専攻 超精密加工

背景

メンバーMembers

所属メンバー

  • MIMURA
    三村 秀和
    教授
  • HOSOBATA
    細畠 拓也     (工学系研究科)
    准教授
  • MOTOYAMA
    本山 央人
    特任講師
  • EGAWA
    江川 悟
    助教
  • 郭 建麗
    特任研究員
  • 齋 治男
    技術専門職員
  • 今泉 博貴
    技術専門職員
  • KANARI
    金成 知子
    事務補佐員
  • UCHINO
    内野 奈々恵
    実験補佐員
  • 白 楽天     (三村研)
    博士課程1年
  • 毛利 柊太郎     (三村研)
    修士課程2年
  • 小笠原 健人     (三村研)
    修士課程1年
  • 高芝 亮太郎     (三村研)
    修士課程1年
  • 木佐木 晧平     (三村研)
    学部4年
  • 嶋岡 睦人     (三村研)
    学部4年
  • 高廣 翼     (三村研)
    学部4年
  • 中島 悠日     (細畠研)
    学部4年
  • 廣川 敦也     (細畠研)
    学部4年
  • 細野 朝子     (細畠研)
    学部4年

卒業生・修了生

博士課程修了生

  • 名前
    修了年
    研究テーマ
  • 1
    武井 良憲
    2017.3
    軟X線回転楕円ミラー用マスターマンドレルの超精密加工計測プロセスの開発
  • 2
    本山 央人
    2018.3
    回転楕円ミラーによる軟X線レーザー集光システムの開発3
  • 3
    久米 健大
    2019. 3
    軟X線用回転体ミラー作製のための高精度ニッケル電鋳プロセスの開発
  • 4
    江川 悟
    2020. 3
    ウォルターミラーによる超短パルス軟X線顕微法の開発
  • 5
    竹尾 陽子
    2021. 3
    波面計測に基づく反射型軟X線集光システムの開発
  • 6
    山口 豪太
    2022. 1
    高精度銅電鋳プロセスの開発とX線用回転体ミラーへの応用
  • 7
    齋藤 貴宏
    2022. 2
    タイコグラフィによる集光光渦の計測法の開発
  • 8
    松澤 雄介
    2023. 9
    小径弾性回転ツールと有機ポリマー粒子スラリーによる高空間分解能ナノ精度加工法
  • 9
    郭 建麗
    2023. 9
    アクリル定盤と水による原子レベル平坦化加工法に関する研究
  • 10
    島村 勇德
    2023. 9
    Achromatic soft-X-ray nanorprobes formed by ultracompact Kirkpatrick-Baez mirror [超小型Kirkpatrick-Baezミラーによる色収差の無い軟X線ナノ集光プローブの形成]

修士課程修了生

  • 名前
    修了年
    研究テーマ
  • 1
    武井 良憲
    2014.3
    軟X線集光ミラー作製のためのナノ精度形状修正加工システムの開発
  • 2
    齋藤 貴宏
    2014.3
    位相回復法を用いた軟X線用回転楕円ミラーの形状計測法の開発
  • 3
    本山 央人
    2015.3
    回転楕円ミラーを用いた高次高調波集光システムの開発と極限軟X線集光に向けた多角的アプローチ
  • 4
    久米 健大
    2015.3
    高精度電鋳プロセスの開発と回転楕円ミラー作製への展開
  • 5
    江川 悟
    2016.3
    軟X線顕微イメージングの為のウォルターミラーに関する研究
  • 6
    竹尾 陽子
    2017.3
    回転楕円ミラーを用いた放射光軟X線集光システムの構築と集光特性の評価
  • 7
    東 隆裕
    2017.3
    高速ノズル噴流を用いたナノ加工法に関する研究
  • 8
    荻本 浩人
    2017.3
    軟X線ミラー型自由間隔回折格子のための2光束干渉露光法の開発
  • 9
    山口 豪太
    2018.3
    X線回転体ミラー作製のための電鋳プロセスの高度化に関する研究
  • 10
    横前 俊也
    2019.3
    成膜および除去加工による軟X線回転体ミラー内面形状修正法の開発
  • 11
    鎌田 悠
    2019.3
    軟X線領域での応用に向けた回転格子作成プロセスの高度化に関する研究
  • 12
    郭 建麗
    2019.8
    有機材料とガラスの化学反応性の調査と研磨加工への応用
  • 13
    島村 勇徳
    2020.3
    超小型Kirkpatrick-Baezミラーによる軟X線ナノ集光システムの開発
  • 14
    大出 龍一郎
    2021.3
    有機粒子を利用した局所研磨加工における回転ツール条件に対する加工特性
  • 15
    清水 冴月
    2021.3
    回転体形状を有する光学素子のX線CTによる高精度形状評価法
  • 16
    松本 豊
    2022.3
    混合溶液中ナノ粒子構造観察のためのX線自由電子レーザー用マイクロ流路デバイスの開発
  • 17
    伊藤 旺成
    2023.3
    超高分解能 X 線天体望遠鏡用ミラーの実現に向けた電鋳プロセスの高精度化
  • 18
    福井 健太
    2023.3
    軟 X 線のミラー反射における光線追跡計算と波動光学計算の比較
  • 19
    伊藤 駿佑
    2024.3
    高精度X線望遠鏡ウォルターミラーの高精度形状評価に関する研究
  • 20
    工藤 悠佑
    2024.3
    高エネルギーX線を用いた高速撮像による放電加工現象の観察
  • 21
    山本 祥大
    2024.3
    高エネルギーX線を用いた高速撮像によるミーリング加工の観察

学士課程卒業生

  • 名前
    卒業年
    研究テーマ
  • 1
    武井 良憲
    2012.3
    ノズル型EEMにおける加工特性の向上に関する研究
  • 2
    齋藤 貴宏
    2012.3
    回転楕円体型軟X線集光ミラーの光学設計と形状計測法の開発
  • 3
    本山 央人
    2013.3
    回転体ミラーを用いた次世代放射光用軟X線集光システムの光学設計
  • 4
    久米 健大
    2013.3
    電鋳法によるナノ精度表面転写プロセスにおけるNi電析条件の基礎的検討
  • 5
    江川 悟
    2014.3
    光学測定を駆使した電鋳プロセスの高精度化に関する研究
  • 6
    平田 貴大
    2014.3
    回転球型EEMによる軟X線ミラー用マンドレル平滑化システムの開発
  • 7
    竹尾 陽子
    2015.3
    タイコグラフィ位相回復法による軟X線集光ミラーのアライメント・形状誤差計測法の開発
  • 8
    東 隆裕
    2015.3
    複数の1nm分解能プローブを用いたX線ミラー用形状計測法の開発
  • 9
    山口 豪太
    2016.3
    電気化学的ナノ加工法に関する研究
  • 10
    長山 光
    2016.3
    複雑形状を有するX線ミラー作製のための高分解能形状修正成膜プロセスの開発
  • 11
    島村 勇徳
    2018.3
    ナノ集光用小型X線ミラーの提案と作成プロセスの開発
  • 12
    西岡 勇人
    2018.3
    マグネトロンスパッタ成膜を用いた高分解能・大面積形状修正法の開発
  • 13
    大川 慎治
    2018.3
    大粒径スラリーによる微小スポット研磨法の開発
  • 14
    大出 龍一郎
    2019.3
    有機砥粒加工法における加工ツール条件と加工特性に関する研究
  • 15
    清水 冴月
    2019.3
    X線CTによる軟X線集光用回転楕円ミラーの形状評価
  • 16
    松本 豊
    2020.3
    X線自由電子レーザーとマイクロ流体デバイスを用いた顕微イメージング技術開発の基礎検討
  • 17
    東 駿吾
    2020.3
    電鋳法とホログラフィック露光を組み合わせた新規光学素子開発に関する研究
  • 18
    伊藤 旺成
    2021.3
    大型X線ミラー作製のためのNi電鋳プロセスの高精度化に関する研究
  • 19
    渡辺 貴史
    2021.3
    タイコグラフィ法による大型X線ウォルターミラーの光学的評価
  • 20
    田村 圭都
    2022.3
    ドリル加工現象の高速X線撮像
  • 21
    内田 大悟
    2023.3
    ドリル加工の放射光高速X 線イメージング
  • 22
    毛利 柊太郎
    2023.3
    高分解能X線望遠鏡用ウォルターミラーの開発 ー 内面成膜システムの構築 ―
  • 23
    川島 涼輔
    2024.3
    高輝度高エネルギーX線によるドリル旋削加工の 4D-CT 観察
  • 24
    戸田 朋花
    2024.3
    アクリル板と水による原子レベル平坦化加工に関する基礎研究 ―水の温度の加工特性への影響―