研究内容

研究プロジェクト
文部科学省科学研究費補助金 基盤研究A 平成27年4月~平成30年3月
回転体ミラーによる次世代軟X線集光システムの開発

(終了)科学技術振興機構(JST) 先端計測機器開発プログラム(要素技術)
平成23年10月~平成28年3月
ラボベース軟X線光源用回転体集光ミラーの開発

①X線集光システム、X線顕微鏡開発
1.回転体型X線ミラーを用いた高次高調波集光・結像システムの開発
(江川悟(D3))
(本学理学研究科化学専攻 山内研究室との共同研究)
2. SPring-8軟X線ビームラインにおける集光システムの設計・開発
(竹尾陽子(D3)、島村勇徳(M2)、清水冴月(M1))
(高輝度光科学研究センター (大橋Gr),との共同研究)
3. EUV-X線自由電子レーザー用集光・結像システムの開発
(江川悟(D3)、山口豪太(D2), 横前俊也(D1))
(理化学研究所、高輝度光科学研究センター(矢橋Gr)
4. X線極限集光光学系の理論的検討 (島村勇徳(M2))
5. X線自由電子レーザーによる溶液中試料のイメージング(松本豊(B4))

②超精密回転体型ミラー作製に関する研究
1. X線ミラー用高精度マンドレル作製プロセスの構築
(江川悟(D3))
(夏目光学株式会社との共同研究)
2. 回転楕円X線ミラーの形状計測
(竹尾陽子(D3)、清水冴月(M1))
(北海道大学との共同研究)
3. 電気鋳造法によるナノ精度転写プロセスの開発
(山口豪太(D2))
(夏目光学株式会社、池上金型工業株式会社との共同研究)
4. 膜厚分布製膜法による回転楕円X線ミラーの作製
(横前俊也(D1)、島村勇徳(M2))

③新型X線ミラー作製に関する研究 
1. X線回折格子の開発
(東駿吾(B4))
2. X線極限集光用新型KBミラーの開発
(島村勇徳(M2))

④ 新規超精密加工、計測法の開発
1. ピンホールマスクを用いた高分解能形状修正法の開発
(島村勇徳(M2))
2. 新規加工プロセス開発
(横前俊也(D1)、大出龍一郎(M1))
3. 新規計測法開発
(竹尾陽子(D3))