研究成果・発表

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2011年度


2019年度 (2019年4月1日~2020年3月31日)
[研究論文 (査読あり)]
1. G. Yamaguchi, H. Mimura, “Effect of Electrodeposition Conditions on Surface Roughness of Copper Electroformed Replicas”, International Journal of Electrical Machining, 25, 33-37 (2020).
2. Y. Takeo, A. Suzuki, H. Motoyama, Y. Takei, T. Kume, Y. Matsuzawa, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror, Applied Physics Letters, 116, 121102 (2020).
3. S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, G. Yamaguchi, T. Kume, K. Yamanouchi, and H. Mimura, “Single-shot achromatic imaging for a broadband soft X-ray pulse,” Opt. Lett. 45(2) 515-518 (2020).
4. S. Egawa, S. Owada, H. Motoyama, G. Yamaguchi, Y. Matsuzawa, T. Kume, Y. Kubota, K. Tono, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura, “Full-field microscope with twin Wolter mirrors for soft X-ray free-electron lasers,” Opt. Express 27(23), 33889-33897 (2019).
5. Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, Probing the spatial coherence of soft X-ray beams with Fresnel mirrors at BL25SU of SPring-8, Journal of Synchrotron Radiation, 26, 756-761 (2019)
6. H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Broadband nano-focusing of high-order harmonics in the soft X-ray region with ellipsoidal mirror, Appl. Phys. Lett. , 114, (24), 241102 (2019)
7. H. Motoyama, S. Owada, G. Yamaguchi, T. Kume, S. Egawa, K. Tono, Y. Inubushi, T. Koyama, M. Yabashi, H. Ohashi, and H. Mimura, Intense sub-micron focusing of soft x-ray free-electron laser beyond 10^16 W/cm^2 with an ellipsoidal mirror, J. Synchrotron Radiat., 26, 1406-1411 (2019)
8. H. Mimura, Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, X-ray ring-focusing mirror, Appl. Phys. Lett. 114, 131901 (2019).

[解説記事]
1. 本山央人,三村秀和,回転楕円ミラーによる軟 X 線 FEL のサブミクロン集光と波長スケール集光への展望,放射光,トピックス,19-25,(2020)

[国際会議論文(査読有)]
1. Y. Matsuzawa, S. Yokomae, J. Guo, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, Development of organic abrasive machining system for fabricating soft x-ray ellipsoidal mirrors, Proc. SPIE 11108, 1110803 (2019)
2. T. Kume, H. Hashizume, K. Hiraguri, Y. Imamura, H. Miyashita, T. Mukoda, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Takeo, T. Shimamura, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, H. Mimura, “Development of 120-mm-long ellipsoidal mirror for soft x-ray microscopy,” SPIE Proceedings, 11108, 1110806, 2019.
3. S. Shimizu, Y. Takeo, G. Yamaguchi, Y. Ohtake, Y. Nagai, and H. Mimura, “Three-dimensional shape measurement of an ellipsoidal mirror by industrial x-ray computed tomography,” SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA, 11-15 August, 2019.
4. S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, S. Owada, Y. Kubota, K. Tono, H. Ohashi, M. Yabashi, H. Mimura, An optical design of twin Wolter mirrors for focusing and imaging experiments with soft X-ray free electron lasers, Proc. SPIE 11108, 1110804 (2019).

[国際会議発表]
1. H. Motoyama, Focusing a femtosecond XUV pulse using a Wolter mirror, the Symposium on Recent Development in Ultrafast Intense Laser Science, The University of Tokyo, Tokyo, Japan, 27, March, (2020)
2. T. Shimamura, and H. Mimura, “Fabrication of ultra-small mirrors for soft-X-ray nano-focusing by differential deposition,” The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019), NTR-B-17, Matsue, Shimane, Japan, November 12-15, 2019.
3. S. Yokomae, Y. Matsuzawa, and H. Mimura, Fundamental research on machining of Ni surfaces using organic abrasives, 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019), Kunibiki Messe, Matsue, Japan, 12-15 November 2019.
4. Jianli Guo, Yusuke Matsuzawa, and Hidekazu Mimura, Studies on chemical reactivity of organic material and its application to planarization of glass surface, The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2019), KUNIBIKI MESSE, Shimane Prefectural Convention Center, Matsue, Japan, 12-15 November, 2019.
5. S. Yokomae, Y. Matsuzawa, and H. Mimura, Construction of a precision surface machining system for axisymmetric soft x-ray mirrors, The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics, Trust City Conference Sendai, Sendai, Japan, 25-26 October 2019.
6. R. Oide, Y. Matsuzawa, S. Yokomae, H. Hashizume, H. Mimura, Improvement of removal rate and surface roughness by tool conditions in organic abrasive machining, 8th International Conference of Asian Society for Procesion Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019), Kunibiki messe, Matsue, Japan, 12-15 November 2019
7. H. Motoyama, Soft X-ray focusing using ellipsoidal mirrors, The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics, Trust City Conference Sendai, Miyagi, Japan, 25-26 October 2019
8. H. Motoyama, Sub-micron focusing of soft x-ray free-electron lasers at SACLA, International Young Researchers Workshop on Synchrotron Radiation Science 2019, Higashi-Hiroshima Campus, Hiroshima University, Hiroshima, Japan, 3-4 September 2019
9. T. Kume; H. Hashizume; K. Hiraguri; Y. Imamura; H. Miyashita; T. Mukoda; Y. Matsuzawa; G. Yamaguchi; Y. Takeo; T. Shimamura; Y. Senba; H. Kishimoto; H. Ohashi; H. Mimura. Development of 120-mm-long ellipsoidal mirror for soft x-ray microscopy. In: Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XIV. International Society for Optics and Photonics, 2019. p. 1110806.
10. S. Egawa, H. Motoyama, G. Yamaguchi, S. Owada, Y. Kubota, Y. Matsuzawa, T. Kume, M. Yabashi, and H. Mimura, “Fabrication and testing of Wolter type-I mirrors for femtosecond soft x-ray imaging,” SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA 11-15 August, 2019.
S. Shimizu, Y. Takeo, G. Yamaguchi, Y. Ohtake, Y. Nagai, and H. Mimura, “Three-dimensional shape measurement of an ellipsoidal mirror by industrial x-ray computed tomography,” SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA, 11-15 August, 2019.
11. Y. Takeo, A. Suzuki, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, and H. Mimura, Soft X-ray focusing system using ellipsoidal mirror for ptychographic imaging, International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019), Yokohama, Japan, 22-26 April (2019).
12. Y. Matsuzawa, S. Yokomae, H. Hashizume and H. Mimura, A surface figuring method for fabricating ultraprecise soft x-ray ellipsoidal mirror, International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019), Yokohama, Japan, 23-25 April 2019.
13. S. Egawa, H. Motoyama, G. Yamaguchi, S. Owada, Y. Kubota, Y. Matsuzawa, T. Kume, M. Yabashi, and H. Mimura, “Femtosecond soft x-ray imaging based on grazing incidence objective mirrors,” International Conference on X-ray optics and applications, Yokohama, Japan, 23-25 April, 2019.
14. T. Shimamura, and H. Mimura, “Development of Small Kirkpatrick-Baez Mirror System for Nano-Focusing of X-Rays (Fabrication of Small Mirrors),” XOPT2019 (International Conference on X-ray Optics and Application), P12, Yokohama, Japan, April 23-25, 2019.
15. J. Guo, Y. Matsuzawa and H. Mimura, Study on Chemical Reactivity of Organic Materials and Glass,” International Conference on X-ray optics and applications, Yokohama, Japan, 23-25 April, 2019.
16. S. Shimizu, Y. Takeo, G. Yamaguchi and H. Mimura, Determination of approximate functions for shape measurement of soft x-ray focusing ellipsoidal mirrors, ” International Conference on X-ray optics and applications, Yokohama, Japan, 23-25 April, 2019.
17. H. Motoyama, Submicron soft x-ray FEL focusing system with an ellipsoidal mirror, SPIE 2019 SPIE Optics+Optoelectronics, Prague, Czech Republic, 1-4 April 2019

[国内会議発表]
1. 大出龍一郎, 横前 俊也, 松澤雄介,三村秀和,有機砥粒加工法におけるワーク振動による加工性能の向上, 2020年度精密工学会春季大会, 東京農工大学, 2020年3月17~19日, 2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
2. 清水冴月,山口豪太,竹尾陽子,長井長慧,大竹豊,三村秀和,X線CTによる回転楕円ミラーの形状評価―測定精度,再現性の評価―,2019年度精密工学会春季大会学術講演会,東京農工大学 小金井キャンパス,2020年3月17日~2019年3月19日.
3. 松本豊、江川悟、山口豪太、横前俊也、湯本博勝、小山貴久、大橋治彦、三村秀和、木村隆志,マイクロ流体デバイスを用いた液中試料X線計測技術の開発,2019年度精密工学会春季大会学術講演会,東京農工大学 小金井キャンパス,2020年3月17日~2019年3月19日.
4. 東駿吾、横前俊也、山口豪太、三村秀和、木村隆志, 電鋳法とホログラフィック露光を組み合わせた新規光学素子開発に関する研究, 2019年度精密工学会春季大会学術講演会,東京農工大学 小金井キャンパス,2020年3月17日~2019年3月19日.
5. 本山央人,回転楕円ミラーを用いた軟X線集光,ISSP「次世代放射光へのイノベーション」物性研大講義室2月14日(2020)
6. 小西祐輔,鈴木明大,竹尾陽子,島村勇徳,仙波泰徳,岸本煇,大橋治彦,三村秀和,西野吉則,回転体ミラーを用いた軟X線タイコグラフィの確立に向けた予備実験,第33回日本放射光学会年会・放射光化学合同シンポジウム,ウインクあいち,2020年1月10日-2020年1月12日.
7. 久保田雄也,本山央人,山口豪太,江川悟,竹尾洋子,水口将暉,Himanshu Sharma,大和田成起,登野健介,三村秀和,松田巌,矢橋牧名軟X線自由電子レーザー及び回転楕円集光ミラーを用いた磁気光学研究 第80回応用物理学会秋季学術講演会北海道大学札幌キャンパス9月17日~21日2019
8. H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, H. Mimura, K. Yamanouchi, Broadband nano-focusing of high-order harmonics in soft X-ray region with ellipsoidal mirror, 分子科学討論会2019名古屋大学,東山キャンパス9月17日~20日 (2019) *ポスター
9. 竹尾陽子,鈴木明大,仙波泰徳,岸本輝,大橋治彦,三村秀和,軟X線タイコグラフィを⽤いた回転楕円ミラーの形状評価,2019年度精密工学会秋季大会学術講演会,静岡大学浜松キャンパス,2019年9月4日~2019年9月6日.
10. 横前俊也,松澤雄介,三村秀和,回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発(第3報)-有機砥粒加工による内面加工装置-,2019年度精密工学会秋季大会学術講演会,静岡大学,2019年9月4日~6日,2019年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 416.
11. 大出龍一郎, 横前 俊也, 松澤雄介,三村秀和,有機粒子加工法に関する基礎研究̶ツール形状および工作物の回転が加工痕に及ぼす影響̶,2019年度精密工学会秋季大会,静岡大学,2020年9月4~6日,2019年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
12. 清水冴月,竹尾陽子,山口豪太,三村秀和,X線CTによる回転楕円ミラーの形状計測の高精度化,2019年度精密工学会秋季大会学術講演会,静岡大学浜松キャンパス,2019年9月4日~2019年9月6日.

[特許出願]
1. 島村勇徳,橋爪寛和,三村秀和,特願2020-21012.


2018年度 (2018年4月1日~2019年3月31日)
[研究論文 (査読あり)]
1. H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Fabrication of a precise ellipsoidal mirror for soft X-ray nanofocusing, Review of Scientific Instruments, 89, 093104 (2018)
2. S. Yokomae, H. Motoyama, H. Mimura, Development of figure correction system for inner surface of ellipsoidal mirrors, Precision Engineering, 53, P. 248-251 (2018).

[解説記事]
1. 三村秀和, 高精度ミラー作製のためのナノ精度電鋳プロセスの開発, 電気加工学会誌, 52(130),p. 79-84 (2018).

[国際会議発表]
1. H. Mimura. Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, Wavefront evaluation in soft x-ray focusing system based on ellipsoidal mirror, Optics + Photonics, San Diego, USA, 19-23 August, 2018.
2. H. Motoyama, S. Owada, G. Yamaguchi, T. Kume, K. Tono, Y. Inubushi, T. Koyama, S. Egawa, H. Ohashi, H. Mimura, Nano-forcusing of sft x-ray free electron laser with a hybrid two-stage reflective optics, International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2018), Taipei, Taiwan, 10-15 June 2018.
3. H. Mimura, Fabrication of precise ellipsoidal mirrors for sfot x-ray nanofocusing, International Workshop on X-ray Optics and Application (IWXM2018), Hsinchu, Taiwan, 6-9 June. (Invited)
4. H. Mimura, Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kishimoto, H. Ohashi, X-ray Ring-Focusing Mirror, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018),Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).
5. S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, K. Yamanouchi, H. Mimura, Imaging Quality of HHG Achromatic Microscope Using Wolter Mirrors, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018), Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).
6. Yuusuke Matsuzawa, Shinji Okawa, Hidekazu Mimura, Development of a high precision processing for master mandrel of soft X-ray ellipsoidal mirror, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018), Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).
7. Shunya Yokomae, Hiroto Motoyama, Hidekazu Mimura, Figure correction of ellipsoidal x-ray mirrors by ion beam sputtering deposition, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2018 (XOPT2018), Yokohama, Japan, 23-27 April (2018).

[国内会議発表]
1. H. Motoyama A. Iwasaki, T. Sato, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, H. Mimura and K. YamanouchiSub-micron focusing of soft x-ray high-order harmonics for timeresolved measurements of two-photon double ionization processes, 日本化学会第99春季年会3月16日-19日 (2019)
2. 久保田雄也,本山央人,山口豪太,江川悟,竹尾洋子,水口将暉,Himanshu Sharma,大和田成起,三村秀和,松田巌,矢橋牧名マイクロ集光軟X線自由電子レーザーを用いた磁気光学研究日本物理学会 第74回年次大会(2019年)九州大学 伊都キャンパス3月14日-17日2019
3. 久米健大; 山口豪太; 三村秀和. ニッケル電鋳法を用いた高精度形状転写プロセスにおける形状転写精度と電析条件の関係. In: 精密工学会学術講演会講演論文集 2019 年度精密工学会春季大会. 公益社団法人 精密工学会, 2019. p. 277-277.
4. 松澤雄介, 橋爪寛和, 三村秀和,有機粒子を用いた光学ガラスの高空間分解能形状修正加工法,2019年度精密工学会春季大会学術講演会,東京電機大学,2019年3月13日~15日,2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 760-761.
5. 横前俊也,松澤雄介,三村秀和,回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発(第2報)-除去加工修正に向けた特性調査-,2019年度精密工学会春季大会学術講演会,東京電機大学,2019年3月13日~15日,2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 676-677.
6. 大出龍一郎,松澤雄介,三村秀和,有機粒子加工法に関する基礎研究̶ツール形状および工作物の回転が加工痕に及ぼす影響̶,2019年度精密工学会春季大会,東京電機大学,2019年3月13~15日,2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
7. 郭建麗,松澤雄介,三村秀和,有機材料とガラスの化学的反応性に関する基礎研究,2019年度精密工学会春季大会,2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 666-667,東京電機大学,2019年3月13~15日
8. 島村勇徳,三村秀和,小型Kirkpatrick-Baezミラー光学系によるX線ナノ集光システムの開発:軟X線用小型楕円筒面ミラーの作製,2019年度精密工学会春季大会学術講演会,東京電機大学 東京千住キャンパス,2019年3月15日〜3月17日,2019年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.764-765.
9. 清水冴月,山口豪太,竹尾陽子,三村秀和,X線CTによるX線回転楕円集光ミラーの形状評価,2019年度精密工学会春季大会学術講演会,東京電機大学東京千住キャンパス,2019年3月13日~2019年3月15日.
10. 竹尾陽子,鈴木明大,仙波泰徳,岸本輝,大橋治彦,三村秀和,回転楕円ミラーによる高NA集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ計測,第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,福岡国際会議場,2019年1月9日~2019年1月11日.
11. 久保田雄也,本山央人,山口豪太,江川悟,竹尾洋子,水口将暉,大和田成起,三村秀和,松田巌,矢橋牧名軟X線マイクロミラーを用いた磁性研究第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム福岡国際会議場1月 9日~ 11日2019
12. 三村秀和, 軟X線用マイクロ・ナノ集光ミラー開発の現状, 物性研究所 短期研究会 軟X線放射光科学のアップシフト 2018年11月30日(依頼講演
13. 竹尾陽子,鈴木明大,仙波泰徳,岸本輝,大橋治彦,三村秀和,回転楕円ミラーによるナノ集光ビームを用いた軟X線タイコグラフィ顕微鏡の開発,日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2018,筑波大学東京キャンパス文京校舎,2018年10月30日~2018年11月2日.
14. 島村勇徳,三村秀和,小型Kirkpatrick-Baezミラー光学系によるX線ナノ集光システムの開発―小型楕円筒面ミラーの作製と形状評価―,日本光学会年次学術講演会,筑波大学東京キャンパス文京校舎,2018年10月30日〜11月2日,2018年度日本光学会年次学術講演会講演予稿集,1pP11.
15. 三村秀和,極限の転写精度を目指した電鋳法の開発と回転楕円X線集光ミラー作製への応用,表面技術協会 表面物性研究会, 大阪産業研究所,2018年6月20日(依頼講演)


2017年度 (2017年4月1日~2018年3月31日)
[研究論文 (査読あり)]
1. H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura, “Differential deposition for producing microstructure,Precision Engineering, 52, p. 380-383 (2018).
2. 軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第2報),武井 良憲, 三村 秀和,精密工学会誌 83 (6) p. 585-592 (2017).
3. T. Saito, Y. Takeo, and H. Mimura,Precise characterization of focused vortex beams,Japanese Journal of Applied Physics 56, 092501 (2017).

[解説記事]
1. 三村秀和,ナノ精度コピーによる超高精度ミラーの量産化,OPTRONICS, 429 (9), p. 134-138(2017).

[国際会議論文(査読有)]
1. H. Motoyama, S. Owada, K. Tono, T. koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, and H. Mimura, Optical design of a sub-1-μm focusing system for soft x-ray free electron lasers”, Proc. SPIE 10386, 1038609 (2017)
2. T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura, Three-dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror, Proc. SPIE 10385, 10385O (2017).

[国際会議発表]
1. T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura, Three- dimensional Shape Measurement for X-ray Ellipsoidal Mirror, 2017 Optics + Photonics, San Diego, USA, 6-10 August, 2017.
2. T. Kume, Y. Takei, S. Egawa, G. Yamaguchi, H. Motoyama, and H. Mimura, Replication Accuracy of Electroforming Process for X-ray Ellipsoidal Mirror, International Conference on X-ray Optics and Application 2017 (XOPT2017), Yokohama, Japan, 18-21 April, 2017.
3. S. Egawa, H. Motoyama, A. Iwasaki, K. Yamanouchi, H. Mimura, “Construction of a soft x-ray transmission microscope for evaluation of Wolter mirror optics, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017),
18-21 April, 2017, Yokohama, Japan.
4. S. Egawa, Y. Takei, Y. Matsuzawa, H. Motoyama, T. Kume, Y. Takeo and H. Mimura, Fabrication process of precise mandrel for Wolte mirror,” The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24), 21-25 August, 2017, Tokyo, Japan.
5. H. Motoyama, and H. Mimura, “Focusing EUV light with ellipsoidal mirror “, International
Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017), Yokohama, Japan, 19-21, April (2017)
6. H. Motoyama, and H. Mimura, “Development of EUV focusing system based on ellipsoidal mirror, 2017 SPIE Optics + Photonics, San Diego, USA, 6-10, August (2017)
7. H. Motoyama, A. Iwasaki, T. Sato, H. Mimura, and K. Yamanouchi, “Focusing EUV high-order harmonics at the diffraction limit “, 14th International conference on multiphoton processes, Budapest, Hungary, 24-27 September, (2017)
8. G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, Fabrication of Ellipsoidal Mirror by Cu Electroforming, International Conference on X-ray Optics and Applications 2017, p.8-13, Yokohama, Japan,18-21 April, 2017.
9. G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, Fabrication of Cu-electroformed Mirrors for X-ray Focusing, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, NTR-O-07, Seoul, Korea, 14-17 November, 2017.
10. S. Yokomae, H. Motoyama, and H. Mimura, Development of differential deposition method for inner surfaces of ellipsoidal x-ray mirrors, The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2017), COEX, Seoul, Korea, 14-17 November, 2017.
11. Takenori Shimamura, Hiroto Motoyama, Hayato Nishioka, Hidekazu Mimura, Proposal for mini-KB mirrors and their fabrication processes, The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017), COEX, Seoul,
Korea, November 14-17, 2017.
12. Y. Kamata,H. Ogimoto,H. Motoyama,K. Nakagawa,H. Mimura,Development of soft X-ray Laminar-type grating with varied-line-spacing besed on holographic exposure,The 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2017), COEX, Seoul, Korea, November 14-17, 2017.,
13. Y. Matsuzawa and H. Mimura, Development of relative angle determinable stitching interferometry for steeply curved x-ray mirror, The 24th Congress of the International Commission for Optics, X-ray and High-energy Optics (ICO-24), 21-25 August, 2017, Tokyo, Japan.
14. Y. Matsuzawa and H. Mimura, Precise stitching angle determination of surface profiles measured by microscopic interferometer, International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2017 (XOPT2017), 18-21 April, 2017, Yokohama, Japan.
15. H. Mimura, Soft x-ray nanofocusing with ellipsoidal mirror, The 24th Congress of the International Commission for Optics, X-ray and High-energy Optics (ICO-24), 21-25 August, 2017, Tokyo, Japan.

[国内会議発表]
1. 山口豪太,久米健大,三村秀和,精密銅電鋳法の転写精度に及ぼす電析条件の影響,2018 年度精密工学会春季大会学術講演会,中央大学,2018年3月13日~3月15日,2018年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 919-920.
2. 本山央人,大和田成起,久米健大,山口豪太,犬伏雄一,登野健介,小山貴久,江川悟,大橋治彦,矢橋牧名,三村秀和,回転楕円ミラーを用いた軟X線自由電子レーザー集光システムの開発,第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウムつくば国際会議場,つくば市1月8日~1月10日 (2018)
3. 横前俊也,本山央人,三村秀和,イオンビームスパッタ成膜による回転体ミラーの内面形状修正,2017年度精密工学会秋季大会,大阪大学,2017年9月20日~22日
4. 横前俊也,本山央人,三村秀和,回転体X線ミラー内面への追加成膜プロセスの開発,第14回X線結像光学シンポジウム,筑波大学,2017年11月29日~30日
5. 横前俊也,本山央人,三村秀和,軟X線集光用回転楕円ミラーの高精度化 -直接的形状修正法の開発と実証-,第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,つくば国際会議場,2018年1月8日~1月10日
6. 横前俊也,本山央人,三村秀和,回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発 -ミラー内面修正性能の評価-,2018年精密工学会春季大会,中央大学,2018年3月15日~17日
7. 本山央人,大和田成起,久米健大,山口豪太,犬伏雄一,登野健介,小山貴久,江川悟,大橋治彦,矢橋牧名,三村秀和:回転楕円ミラーを用いた軟X線自由電子レーザー集光システムの開発,第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,筑波大学,2018年1月8日~10日
8. 島村勇徳, 本山央人, 松澤雄介, 西岡勇人, 三村秀和, X線集光用超小型KBミラーのための作製・計測プロセスの開発, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会, 中央大学, 2018年3月15日~3月17日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.599-600.
9. 島村勇徳, 本山央人, 西岡勇人, 三村秀和, X線集光用超小型KBミラーの提案と作製プロセスの開発 , 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会, 大阪大学, 2017年9月20日~2017年9月22日, 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集p.819-820.
10. 鎌田悠,荻本浩人,本山央人,中川桂一,三村秀和,2光束干渉露光による軟X線反射型回折格子の開発 -基板エッチング方法の検討-,2017年精密工学会秋季大会,大阪大学,2017年9月20日~22日
11. 鎌田悠,荻本浩人,本山央人,中川桂一,三村秀和,2光束干渉とイオンビームエッチングを用いたデューティ比の制御された回折格子の作製,日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2017,筑波大学東京キャンパス,2017年10月30日~11月2

12. 鎌田悠,荻本浩人,本山央人,中川桂一,三村秀和,2光束干渉露光による軟X線反射型回折格子の開発,第十四回X線結像光学シンポジウム,筑波大学,2017年11月29日~30日
13. 鎌田悠,荻本浩人,郭建麗,本山央人,中川桂一,三村秀和,2光束干渉露光とイオンビームエッチングによる軟X線反射型回折格子の開発,第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,つくば国際会議場,2018年1月8日~10日
14. 鎌田悠,郭建麗,中川桂一,三村秀和,X線グレーティングのための2光束干渉露光法の開発 -グレーティング作製精度の向上-,2018年精密工学会春季大会,中央大学,2018年3月15日~17日
15. 竹尾陽子,本山央人,仙波泰徳,岸本輝,大橋治彦,軟X線集光用高精度回転楕円ミラーの開発,第十四回X線結像光学シンポジウム,筑波大学,2017年11月29日~30日
16. 竹尾陽子,本山央人,仙波泰徳,岸本輝,大橋治彦,放射光軟X線による回転楕円ミラーの集光特性評価,第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,つくば国際会議場,2018年1月8日~10日
17. 三村秀和,Ni電鋳法による高精度X線ミラーの作製,表面技術協会 関東支部 第93回講演会,表面技術的視点からの材料科学の新展開,2017年12月15日 (依頼講演)
18. 郭建麗,久米健大,山口豪太,三村秀和,高精度電鋳のためのNi電析条件の検討 -スルファミン酸溶液のpHと濃度が内部応力に与える影響-,2017年度精密工学会秋季大会,2017年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 867-868,大阪大学,2017年9月20~22日


2016年度 (2016年4月1日~2017年3月31日)
[研究論文 (査読あり)]
1. H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Development of high-order harmonic focusing system based on ellipsoidal mirror, Rev. Sci. Istrum. 87 051803(2016)
2. G.Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, A Fundamental Study of Local Electrochemical Nano-processing, International Journal of Electrical Machining, 2017
3. 武井良憲,三村秀和, “軟X線回転体ミラーのマンドレル作製システムの開発(第1報)-周方向修正加工システムの開発- “,精密工学会誌,83巻3号(2017).

[解説記事]
1. 三村秀和,高精度回転楕円ミラーによる高強度EUV・軟X線ビーム形成,光アライアンス27(7),45-49,2016.
2. 三村秀和,高精度電鋳法の開発と軟X線集光ミラーの作製,Electrochemistry 84(9), 721-725, 2016.
3. 三村秀和,ナノ精度表面製造法とX線集光ミラー,応用物理 85(11),957-961, 2016.
4. 三村秀和,電鋳法による高精度表面転写プロセスの開発,電気加工学会誌,51(126),147-151,2017.

[国際会議論文(査読あり)]
1. S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura, Replication reslut of Wolter mirror for soft x-ray microscopy by electroforming, Proc. SPIE 9687 968705 (2016).
2. T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura, Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming, Procedia. CIRP, 42, 783-787(2016).
3. H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura, Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors, Procedia CIRP 42 512-515 (2016).
4. T. Saito, Y. Takeo, H. Mimura, “Wavefront measurement of vortex beam using ptychographic phase retrieval,” Proc. SPIE 9982, 998202 (2016).
5. Y. Takei, H. Mimura, “Development of surface profiler for master mandrel of x-ray ellipsoidal mirror “, Proc. SPIE 9962, 99620C (2016).

[国際会議発表]
1. S. Egawa, T. Kume, Y. Takeo, Y. Takei, H. Motoyama and H. Mimura, Replication reslut of Wolter mirror for soft x-ray microscopy by electroforming, The 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies, Suzhou China, 27-29 April, 2016.
2. T. Saito, Y. Takeo, H. Mimura, Wavefront measurement of vortex beam using ptychographic phase retrieval, 2016 Optics + Photonics, San Diego USA, 28 August – 1 September, 2016.
3. Y. Takei, H. Mimura, Development of a surface profiler for mandrel of ellipsoidal soft x-ray focusing mirror, 2016 Optics + Photonics, San Diego USA, 28 August – 1 September, 2016.
4. H. Motoyama, M. Nagayama, and H. Mimura, Development of an Ion Beam Sputter Deposition System for Producing Complex-Shaped X-ray Mirrors, 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII), Tokyo, Japan, 19-21 April, 2016
5. T. Kume, S. Egawa, G. Yamaguchi, and H. Mimura, Influence of Residual Stress of Electrodeposited Layer on Shape Replication Accuracy in Ni Electroforming, 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII), Tokyo, Japan, 19-21 April, 2016
6. H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, Y. Takeo, Y. Senba, H. Ohashi, K. Yamanouchi, and H. Mimura  “Current status of the development of two-staged focusing system for soft X-ray lasers “ International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
7. S. Egawa, T. Kume, Y. Takei, Y. Takeo, H. Motoyama and H. Mimura, Current status of development of ultraprecise Wolter mirror for soft X-ray microscopy,  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan..
8. Y. Takeo, H. Motoyama, Y. Senba, H. Kisimoto, H. Ohashi and H. Mimura, “Evaluation of degree of spatial coherence at a soft X-ray beamline of SPring-8, “ International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
9. Y. Takeo, T. Saito and H. Mimura, “Wavefront measurement using ptychographic phase retrieval for evaluating figure and alignment errors of ellipsoidal mirror, ”  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
10. T. Kume, S. Egawa, Y. Takeo, and H. Mimura, Electroforming process specialized for fabrication of x-ray ellipsoidal mirror,  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
11. Y. Takei, T. Higashi and H. Mimura, Development of figure correction system for master mandrel of ellipsoidal x-ray mirror,  International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT2016), 18-20 May, 2016, Yokohama, Japan.
12. T. Kume, G. Yamaguchi, and H. Mimura, Development of Pulse Electrodeposition for Removal of Hydrogen Bubbles Adhering to Cathode, Electrochemistry 2016, Goslar, Germany, 26-28 September, 2016
13. G. Yamaguchi, T. Kume, H. Mimura, Fundamental Study on Local Nano-processing by Potential Control in Acidic Solutions, The 16th International Conference on Precision Engineering, Hamamatsu, Shizuoka, Japan, 14-16 November, 2016.

[国内会議発表]
1. 齋藤貴宏,竹尾陽子,三村秀和,タイコグラフィ法による光渦ビーム波動場の精密計測,2016年度精密工学会秋季大会,茨城大学水戸キャンパス,2016年9月6日~8日,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 419-420.
2. 荻本浩人、三村秀和、2光束干渉を利用した軟X線ラミナー型自由間隔回折格子の開発-露光システムの設計、2016年度精密工学会秋季大会学術講演会、茨城大学、2016年9月20日~9月22日, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 273-274.
3. 山口豪太,久米健大,三村秀和,常温Ni電鋳におけるパルス電析条件の検討,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会,茨城大学,2016年9月6日~9月8日,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 285-286.
4. 武井良憲,松澤雄介,三村秀和,X線集光用回転楕円ミラーマンドレル作製プロセスの開発,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会,茨城大学,2016年9月6日~9月8日, 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 283-284.
5. 東隆裕,三村秀和,純水の高速噴流を用いたナノ加工法の基礎的検討-溶存酸素の影響調査-,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会,茨城大学,2016年9月6日~9月8日,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 291-292.
6. 山口豪太,久米健大,三村秀和,回転楕円ミラーの作製のための高精度電鋳法の開発,第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,9P020, 神戸芸術センター,神戸市,2017年1月7日~1月9日.
7. 三村秀和,本山央人,竹尾陽子,武井良憲, 松澤雄介, 久米健大, 仙波泰徳,岸本輝, 大橋治彦, 回転楕円ミラーによる軟X線集光,第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,3F002,神戸芸術センター,神戸市,2017年1月7日~1月9日.
8. 齋藤貴宏,竹尾陽子,江川悟,三村秀和,回転楕円ミラー評価のための高精度波面計測装置の開発,2017年度精密工学会春季大会,慶応義塾大学矢上キャンパス,2017年3月13日~15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 967-968.
9. 松澤雄介、三村秀和、高分解能スティッチング干渉計測における高精度つなぎ合わせ角度決定法、2017年度精密工学会春季大会学術講演会、慶應義塾大学、2017年3月13日~3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 969-970.
10. 本山央人、岩崎純史、佐藤堯洋、武井良憲、久米健大、江川悟、山内薫、三村秀和、回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会、慶應義塾大学、2017年3月13日~3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 961-962.
11. 西岡勇人、本山央人、三村秀和, ピンホール成膜による高分解能形状修正成膜法の開発, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会、慶應義塾大学、2017年3月13日~3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 971-972.
12. 山口豪太,久米健大,三村秀和,銅電析による高精度電鋳法の開発,2017年度精密工学会春季大会学術講演会、慶應義塾大学、2017年3月13日~3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 965-966.
13. 久米健大、武井良憲、三村秀和、回転楕円ミラー用マンドレルの3次元高精度形状計測法の開発、2017年度精密工学会春季大会学術講演会、慶應義塾大学、2017年3月13日~3月15日, 2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p. 963-964.
14. 三村秀和,高精度回転楕円ミラーによる軟X線ナノ集光,第76回ELIDセミナー,理化学研究所,和光キャンパス,2016年12月22日 (依頼講演)
15. 三村秀和,高精度X線ミラー製造のための超精密形状計測法,H28年度長さクラブ講演会,機械振興会館,2017年2月24日 (依頼講演)
16. 三村秀和, 高精度ミラーを用いた軟X線のナノ集光,物性研究所短期研究会「新世代光源で切り拓く物質科学と生命科学の融合領域」,東京大学柏キャンパス、2017年3月8日 (依頼講演)
17. 三村秀和,ナノ精度コピーによる超高精度ミラー作製,科学技術振興機構 新技術説明会,JST東京本部別館1Fホール,2017年3月16日 (依頼講演)

[特許出願]
1. 久米健大、三村秀和、精密電鋳のための気泡除去方法,特願2016-113951


2015年度 (2015年4月1日~2016年3月31日)
[研究論文 (査読あり)]
1. H. Motoyama and H. Mimura, Two-stage reflective optical system for achromatic 10 nm x-ray focusing, J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 48 244002 (2015).
2. T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura, Development of internal stress measurement technique for Ni electroforming using Shack-Hartmann sensor, International Journal of Electrical Machining, 21, 25-30(2016).

[国際会議論文(査読あり)]
1. H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi, Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light, Proc. SPIE 9588, 95880L (2015).
2. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing, Proc. SPIE 9588, 95880A (2015)
3. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Ptychographic phase retrieval method for characterizing ultra-precise ellipsoidal mirrors, Proc. SPIE 9633, 96332C (2015).

[国際会議発表]
1. T. Kume, S. Egawa, and H. Mimura, Effect of Electrodeposition Conditions on Replication Accuracy of Electroforming, Proc. EUSPEN 15th International Conference, 61-62 2015.
2. H. Motoyama, T. Sato, A. Iwasaki, S. Egawa, K. Yamanouchi, and H. Mimura, High-order Harmonics Focusing with Ellipsoidal Mirror in Soft X-ray Region, International Workshop on X-Ray Optics and Metrology (IWXM2015), Berkeley, USA, 13-16 July, 2015.
3. H. Mimura, Y. Takei, T. Saito, T. Kume, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Takeo, T. Higashi, Development of ellipsoidal focusing mirror for soft x-ray and extreme ultraviolet light, 2015 Optics + Photonics, San Diego USA, 9-13 August, 2015
4. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Evaluation of surface figure error profile of ultra-precise ellipsoidal mirror for soft X-ray focusing, 2015 Optics + Photonics, San Diego USA, 9-13 August, 2015.
5. Y. Takei and H. Mimura, Roundness correction processing with nanometer order accuracy., 12th ISMTII(12th International Symposium on Measurment Technology and Intelligent Instruments.), National Taiwan University, Taipei, Taiwan, 22-25 September, 2015., paper No. 1270.
6. Y. Takeo, T. Saito, H. Mimura, Ptychographic phase retrieval method for characterizing ultra-precise ellipsoidal mirrors, SPIE Optifab 2015, Rochester USA, 12-15 October, 2015.
7. T. Saito, Y. Takeo, H. Mimura, Design and fabrication of X-ray mirror for producing vortex beam, 2015 OPTIFAB, Rochester USA, 12-15 October, 2015.

[国内会議発表]
1. 久米健大、江川悟、山口豪太、三村秀和、電析膜の内部応力測定と電鋳法の形状転写性能評価、2015年度精密工学会秋季大会、東北大学、2015年9月4日~9月6日、2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.711-712.
2. 本山央人、長山光、三村秀和、イオンビームスパッタ成膜法による回転楕円ミラーの内面形状修正装置の開発、2015年精密工学会秋季大会、東北大学、2015年9月4日~9月6日、2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p.721-722.
3. 長山光、本山央人、三村秀和、ピンホールマスクを用いた高分解能形状修正成膜手法の開発修正装置の開発、2015年精密工学会秋季大会、東北大学、2015年9月4日~9月6日、2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 723-724.
4. 江川悟、久米健大、竹尾陽子、斎藤貴宏、武井良憲、三村秀和、軟X線結像用ウォルターミラーの作製と形状精度の評価、2015年度精密工学会秋、東北大学、2015年9月4日~9月6日、2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 707-708.
5. 武井良憲,東隆裕,三村秀和, 回転楕円ミラー用マンドレルの形状計測装置の開発とその形状修正加工,2015年度精密工学会秋季大会,東北大学、2015年9月4日~6日、2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 p. 709-710.
6. 本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和、回転楕円ミラーによる軟X線集光システムの開発、日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015、筑波大学、2015年10月28日~10月30日.
7. 江川悟、久米健大、武井良憲、竹尾陽子、斎藤貴宏、三村秀和、軟X線結像用ウォルターミラーの形状評価と結像性能の予測、2015年日本光学会年次学術講演会,筑波大学東京キャンパス文京校舎,2015年10月28日~10月30日.
8. 竹尾陽子、齋藤貴宏、三村秀和、タイコグラフィ位相回復法による集光波面計測の高精度化、日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015、筑波大学東京キャンパス文京校舎、2015年10月28日~10月30日.
9. 齋藤貴宏、竹尾陽子、三村秀和、タイコグラフィ位相回復法による光渦ビームの波面計測法の開発、日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2015、筑波大学東京キャンパス文京校舎、2015年10月28日~10月30日.
10. 本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和、回転楕円ミラーによる高次高調波集光システムの開発と自由電子レーザへの展開、第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、東京大学、柏市、2016年1月9日~1月11日、3D003
11. 長山光、本山央人、三村秀和、複雑な形状を有するX線ミラー作製のための高分解能形状修正成膜法の開発、第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、東京大学、柏市、2016年1月9日~1月11日、11P008
12. 江川悟、竹尾陽子、本山央人、久米健大、武井良憲、三村秀和、軟X線結像のためのウォルターミラーの開発、第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、三井ガーデンホテル柏の葉,2016年1月9日~1月11日、
13. 武井良憲,久米健大,竹尾陽子,三村秀和、高精度マンドレル作製と高精度形状転写による軟 X 線回転楕円ミラーの作製、第29回日本放射光学会年会・放射光科学シンポジウム、東京大学、柏市、2016年1月9日~1月11日、10P019
14. 竹尾陽子、本山央人、仙波泰徳、岸本 輝、大橋治彦、三村秀和、フレネルミラー光学系による軟X線ビームの空間コヒーレンス評価、第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、東京大学柏の葉キャンパス、2015年1月9日~1月11日、10P024.
15. 東隆裕,三村秀和,キャビテーション墳流を用いたナノ加工法の基礎的検討-各種加工材料を用いた化学反応性調査-,2016年度精密工学会春季大会,東京理科大学野田キャンパス,2016年3月15日~3月17日,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,pp. 923-924.
16. 長山光、本山央人、三村秀和、ピンホールマスクを 用いた高分解能形状 修正成膜法の開発  第 2 報-数値制御シ ステムによる任意形 状創成-、2016年精密工学会春季大会、東京理科大学、2015年3月15日~3月17日,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集,pp. 919-920.
17. 竹尾陽子、齋藤貴宏、三村秀和、位相回復法を用いた転楕円ミラーの形状計測高精度化、2016年度精密工学会春季大会、東京理科大学 野田キャンパス、2016年3月15日~3月17日、2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.917-p.918
18. 山口豪太,久米健大,三村秀和,電気化学的ナノ加工法の基礎的検討 -デュアルポテンショスタットによる両極反応制御-,2016年度精密工学会春季大会学術講演会,東京理科大学,2016年3月15日~3月17日,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 p.921-922
19. 三村秀和,軟X線用回転体集光ミラー開発の現状と今後の展開,X線ナノ集光技術研究会2015、東京大学、2015年10月31日(依頼講演)
20. 三村秀和,極限集光光学システムによる超高強度X線パルスの実現,レーザー学会学術講演会第36回年次大会,名城大学、2016年1月9日~1月11日.(招待講演)
21. 三村秀和,放射光ナノビーム開発の現状と展望,東北放射光施設(SLiT-J)利用分野調査検討ワークショップ,東北大学,2016年1月19日 (依頼講演)

[特許出願]
1. 竹尾陽子、三村秀和、高NA集光素子の出口波面計測方法及び出口波面計測システム,特願2015-158575


2014年度 (2014年4月1日~2015年3月31日)
[研究論文 (査読あり)]
1. H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, T. Koyama, K. Tono, Y. Inubushi, T. Togashi, T. Sato, J. Kim, R. Fukui, Y. Sano, M. Yabashi, H. Ohashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi, Generation of 1020 Wcm-2 hard X-ray laser pulses with two stage reflective focusing system, Nature communications 5 3539, doi:10.1038/ncomms4539 (2014).
2. M. Yabashi, K. Tono, H. Mimura, S. Matsuyama, K. Yamauchi, T. Tanaka, H. Tanaka, K. Tamasaku, H. Ohashi, S. Goto and T. Ishikawa,Optics for coherent X-ray applications,Jounal of Synchrotron Radiation., 21, 976-985 (2014).
3. 久米健大,三村秀和,電鋳法によるナノ精度形状転写プロセスの開発 -常温ニッケル電析条件の検討とマンドレルの高精度転写-,精密工学会誌,80(6), 582-586(2014).
4. S. Egawa, T. Kume, and H. Mimura, In Situ Observation of Bubble Traces in Nickel Electrodeposition, International Journal of Electrical Machining, 20, p.25-p.30 (2015)

[国際会議論文(査読あり)]
1.S. Egawa and H. Mimura, Toward Achromatic Soft x-ray Imaging System with Sub-10-nm Spatial Resolution, Proc. SPIE, 9207, 92070R. 2014.

[国際会議発表]
1. T. Kume, Y. Takei, T. Saito, H. Motoyama, S. Egawa, H. Mimura, Fabrication of Soft X-ray Ellipsoidal Focusing Mirror by Highly Accurate Electroforming Process, ICPE2014 (The 15th International Conference on Precision Engineering), Kanazawa, Japan, 22-25 July, 2014.
2. S. Egawa and H. Mimura, Toward Achromatic Soft x-ray Imaging System with Sub-10-nm Spatial Resolution, 2014 Optics + Photonics, San Diego USA, 17-21 August, 2014.
3. T. Saito, Y. Takeo, T. Kume, H. Motoyama, H. Mimura, A ptychographic phase retrieval method for measuring figure error profile of soft x-ray focusing mirror, 2014 Optics + Photonics, San Diego USA, 17-21 August, 2014.
4. Y. Takei, R. Jourdain, P. Morantz and P. Shore. “Investigation of large optics measurement system with 1 nm repeatability.” Structured & Freeform Surfaces Meeting, Padova, Italy, 19 – 20 November 2014.
5. H. Mimura, Advanced Manufacturing of Novel Focusing Optics for X-ray lasers, the Classical Optics Congress, Hawaii, 2014年6月24日 (Invited).

[国内会議発表]
1. 竹尾陽子、斎藤貴宏、久米健大、本山央人、三村秀和、位相回復法による回転楕円ミラーの形状計測における測定精度の評価、2014年度精密工学会秋季大会、鳥取大学、2014年9月16日~9月18日、2014年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集p.273-p.274.
2. 東隆裕,武井良憲,三村秀和,複数の1 nm分解能レーザプローブを用いたX線ミラー用計測装置の開発,2014年精密工学会秋季大会,鳥取大学,2014年9月16日~18日,2014年精密工学会秋季大会学術講演論文集,pp. 271‐272
3. 竹尾陽子、斎藤貴宏、久米健大、本山央人、三村秀和、タイコグラフィー位相回復法による高精度波面計測の開発と軟X線集光ミラーの評価、日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2014、筑波大学東京キャンパス文京校舎、2014年11月5日~11月7日、講演予稿集6pD1.
4. 江川悟、久米健大、三村秀和、 電鋳プロセスにおけるシャクハルトマン型波面センサを用いたin-situ応力測定と電析条件の制御、 電気加工学会全国大会(2014)、 新潟大学ライブラリーホール、名古屋市、2014年12月4日~12月5日、電気加工学会全国大会(2014)講演論文集 p.91-p.92.
5. 本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和、回転楕円ミラーによる高次高調波軟X線集光、第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、立命館大学、草津市、2015年1月10日~1月12日、12P040.
6. 江川悟、 本山央人、 三村秀和、 ウォルターミラーを用いた軟X 線結像光学システムの理論的検証、 第28回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、 立命館大学びわこ・くさつキャンパス、 2015年1月10日~12日、12P043.
7. 竹尾陽子、斎藤貴宏、久米健大、本山央人、三村秀和、軟X線集光ミラーの形状誤差・アライメント誤差オフライン評価法の開発、第28回 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、立命館大学、2015年1月11日~1月12日、シンポジウム予稿集 12P042.
8. 本山央人、佐藤尭洋、岩崎純史、江川悟、山内薫、三村秀和、回転楕円ミラーによる高次高調波軟X線の集光特性評価、2015年精密工学会春季大会、東洋大学、2015年3月17日~3月19日、2015年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1053-p.1054
9. 久米健大,江川悟,三村秀和,高精度電鋳法の開発における電気化学的アプローチによる電析条件の検討,2015年精密工学会春季大会,東洋大学,2015年3月17日~3月19日,2015年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1063-1064
10. 竹尾陽子、本山央人、仙波泰徳、大橋治彦、三村秀和、回転体ミラーとリング集光ミラーを用いた2段集光システムのSPring-8軟X線ビームライン導入に向けた光学シミュレーション、2015年度 精密工学会春季大会、東洋大学、2015年3月17日~3月19日、2015年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集p.1051-p.1052.
11. 東隆裕,武井良憲,齋藤貴宏,久米健大,三村秀和,複数の1 nm分解能レーザプローブを用いたX線ミラー形状計測装置の開発(第2報) ‐計測精度の向上と評価‐,2015年精密工学会春季大会,東海大学,2015年3月17日~19日,2015年精密工学会春季大会学術講演論文集,pp. 1059‐1060.
12. 武井良憲,Jourdain Renaud,Morantz Paul,Shore Paul:再現性1nm の大型光学素子計測システム,2015年度精密工学会春季大会、東洋大学、文京区,2015年3月17日~19日,C39.
13. 齋藤貴宏,竹尾陽子,三村秀和,タイコグラフィー位相回復法による光渦の波面計測,2015年 <第62回 >応用物理学会春季学術講演会,東海大学,2015年3月11日~3月14日,2015年 <第62回 >応用物理学会春季学術講演会[講演予稿集] 14a-A12-9.
14. 三村秀和,斎藤貴宏,竹尾陽子,久米健大,本山央人,回転楕円軟X線集光ミラーの形状アライメント誤差計測のためのタイコグラフィー波面センシング,光計測シンポジウム,機械振興会館,2014年11月14日 (依頼講演)
15. 三村秀和,超高精度ミラーによるEUV・X線レーザの高効率微小集光, 理研セミナー,理化学研究所(和光),2015年3月2日 (依頼講演)
16. 三村秀和,X線レーザーのためのナノ集光技術と将来展望,日本放射光学会第六回若手研究会研究会「コヒーレントX線が拓く構造可視化の新しい世界」, SPring-8, 2014年8月22日,23日(依頼講演)


2013年度 (2013年4月1日~2014年3月31日)
[研究論文 (査読あり)]
1. Y. Takei and H. Mimura, Effect of focusing flow on stationary spot machining properties in elastic emission machining, Nanoscale Research Letter, 16, 8(1) 237, 2013.
2. Y. Takei and H. Mimura, 100μm-Size Stationary Spot Machining in Elastic Emission Machining., Int. J. Nanomanufacturing, 10 (3), 244 – 253 (2014).
3. H. Motoyama, T. Saito, and H. Mimura, Error Analysis of Ellipsoidal Mirror for Soft X-ray Focusing by Wave-Optical Simulation, Jpn. J. Appl. Phys. 53 (2014) 022503

[国際会議論文(査読あり)]
1. H. Motoyama, T. Saito, H. Mimura, Optical design of soft x-ray focusing system with ellipsoidal mirror for laboratory-based sources, Proc. SPIE, 8848, 88480E. 2013.
2. Y. Takei, T. Kume, H. Motoyama, K. Hiraguri, H. Hashizume, H. Mimura, Development of numerically controlled elastic emission machining system for fabricating mandrels of ellipsoidal focusing mirrors used in soft x-ray microscopy, Proc. SPIE, 8848, 88480C. 2013.

[国際会議発表]
1. H. Motoyama and H. Mimura, Optical Design of Two-step Soft X-ray Focusing System with Rotationally Symmetric Mirrors, 2013 Optics + Photonics, San Diego, USA 25-29 August, 2013.
2. Y. Takei, T. Kume and H. Mimura, Fabrication of Ellipsoidal Focusing Mirrors for Soft X-ray Microscopy using Elastic Emission Machining and Electroforming, 2013 Optics + Photonics, San Diego, USA 25-29 August, 2013.
3. T. Kume, Y. Takei, H. Mimura, Development of Nanometer-Level Accurate Surface Replication Process for Producing X-ray Ellipsoidal Focusing Mirror, ASPEN2013 (5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology), Taipei, Taiwan, 12-15 November, 2013.
4. S. Egawa, T. Kume and H. Mimura, Electrodeposition Conditions in Ni Electroforming for Fabrication of Soft X-ray Ellipsoidal Focusing Mirrors, the 12th Symposium on X-ray Imaging Optics, Osaka, Japan, 18-20, November, 2013. (Poster)
5. Y. Takei, T.Saito, T.Kume, T.Hirata, H. Mimura: “Development of manufacturing process for soft X-ray ellipsoidal mirrors. “, The 12th symposium on X-ray Imaging Optics , P26, Oosaka(Japan), November 2013.
6. H. Mimura, Development of ellipsoidal mirror for focusing soft X-ray , the 12th Symposium on X-ray Imaging Optics, Osaka, Japan, 18-20, November, 2013. (Invited)

[国内会議発表]
1. 本山央人、斎藤貴宏、三村秀和、回転体ミラーを用いた二段X線集光システムの集光特性、2013年精密工学会秋季大会、関西大学、2013年9月12日~9月14日、2013年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.665-p.666.
2. 久米健大、武井良憲、三村秀和、高精度電鋳法による回転楕円軟X線集光ミラーの作製、2013年精密工学会秋季大会、関西大学、2013年9月12日~9月14日、2013年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.667-668.
3. 本山央人,三村秀和,回転体ミラーを用いた2段集光光学系によるX線ナノビーム形成法,第12回X線結像光学シンポジウムサテライトミーティングX線ナノ集光技術研究会「多次元イメージングへの展開」,大阪大学中之島センター,2013年11月17日(招待講演)
久米健大、江川悟、三村秀和、高精度電鋳プロセスにおける周期的減圧電析の形状転写性能への効果、電気加工学会全国大会2013、愛知県産業労働センター、名古屋市、2013年12月5日~12月6日、電気加工学会全国大会(2013)講演論文集p.125-p.126.
4.江川悟、久米健大、三村秀和、高精度電鋳プロセスにおける電析現象のin-situ観察、電気加工学会全国大会(2013)、愛知県産業労働センダー、2013年、12月5日~12月6日、電気加工学会全国大会(2013)講演論文集p.1-p.2.
5.久米健大、江川悟、三村秀和、回転楕円軟X線集光ミラー作製のための常温電析プロセスを用いた電鋳法の高精度化、第27回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、広島国際会議場、広島市、2014年1月11日~1月13日、11P012.
6齋藤貴宏,久米健大,本山央人,三村秀和,位相回復による回転楕円軟X線ミラーの形状計測における高精度化,第27回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,広島国際会議場,広島,2014年1月11日~1月13日,11P011,
7.久米健大、江川悟、武井良憲、齋藤貴宏、三村秀和、高精度電鋳法による回転楕円軟X線集光ミラーの作製(第2報)-集光ミラーの試作と転写性能の評価-、2014年精密工学会春季大会、東京大学、2014年3月18日~3月20日、2014年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1275-p.1276
8.江川悟、久米健大、三村秀和、シャクハルトマンセンサを利用したたわみ測定による電鋳プロセスの高精度化、2014年精密工学会春季大会、東京大学、2014年3月18日~3月20日、2014年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1273-p.1274.
9.齋藤貴宏,久米健大,三村秀和,位相回復法を用いた回転楕円ミラーの形状計測,2014年精密工学会春季大会,東京大学,東京,2014年3月18日~3月20日,2014年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1277-p.1278.
10.武井 良憲, 久米 健大, 本山 央人, 三村 秀和: ” 軟X線回転楕円ミラー用マンドレルのための形状修正加工システムの開発. “, 2014年精密工学会春季大会, R34, 東京大学(東京), 2014年3月.
11. 三村秀和、ナノ精度表面製造プロセスの構築とX線光学素子への展開、砥粒加工学会、第49回次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会、 東京大学、2013年6月19日. (依頼講演)
12. 三村秀和、超高精度X線ミラーの開発とその応用、電子情報技術産業協会(JEITA)半導体技術ロードマップ委員会計測部会、JEITA(大手センタービル)、2013年9月6日. (依頼講演)

[特許出願]
1.武井良憲, 三村秀和, 集流型ノズルを用いたEEM加工方法及びその装置、特願2013-105930
2.本山央人, 三村秀和, 回転体ミラーを用いたX線集光システムの光学設計及びX線集光システム、特願2013-147116.


2012年度 (2012年4月1日~2013年3月31日)
[研究論文(査読あり)]
1. H. Yumoto, H. Mimura, T. Koyama, S. Matsuyama, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Sato, T. Tanaka, T. Kimura, H. Yokoyama, J. Kim, Y. Sano, Y. Hachisu, M. Yabashi, H. Ohashi, H. Ohmori, T. Ishikawa, K. Yamauchi, Focusing of X-ray free electron laser pulses with reflecticve optics, Nature Photonics 7, 43-47 (2013).

[解説記事]
1. 三村秀和,湯本博勝,小山貴久,大橋治彦,石川哲也,山内和人,SACLAにおける1μmコヒーレント集光装置の開発,日本放射光学会誌,Vol.25, No.2, (2012).

[国際会議論文(査読あり]
1. 2. T. Saito, Y. Yoshinori, H. Mimura, Development of Surface Profile Measurement Method for Ellisoidal X-ray Mirror using Phase retrieval, Proc. SPIE, 8501, 850103.
2. H.Mimura, H. Ohmori, K. Yamauchi, Development of Focusing system for X-ray Free Electron Laser, Key Engineering Materials, 516, 251-256, 2012. (Proceedings of Presicion Engineering and Nanotechnology)

[国際会議発表]
1. T. Saito, H. Mimura, Feasibility study for measuring figure error profile of ellipsoidal mirror using phase retrieval with ptychography, 5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology, Osaka, Japan, 22-24 October, 2012.
2. Y. Takei, H. Mimura, Control of Shape of Stationary Spot Profile in Nozzle-type Elastic Emission Machining, 5th International Symposiumu on Atomically Controlled Fabrication Technology, Osaka, Japan, 22-24 October, 2012.
3. T. Saito, Y. Takei, H. Mimura , Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval, 2012 Optics + Photonics, San Diego, USA, 12-16 August, 2012.
4. Y. Takei, H. Mimura , Improvement of Spatial Resolution of Figuring in Elastic Emission Machining, nanoMan2012 (The International State-of-the-art in nano Manufacturing), Wako, Japan, 25-27 July, 2012.

[国内会議発表]
1. 久米健大、武井良憲、三村秀和、回転体X線ミラーのための高精度電鋳プロセスの開発、、2013年精密工学会春季大会、東京工業大学、2013年3月13日~3月15日、2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.199-p.200.
2. 斎藤貴宏、本山央人、三村秀和、回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発、2013年精密工学会春季大会、東京工業大学、2013年3月13日~3月15日、2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.197-p.198.
3. 本山央人、斎藤貴宏、三村秀和、大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計、2013年精密工学会春季大会、東京工業大学、2013年3月13日~3月15日、2013年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.195-p.196.
4. 武井良憲、久米健大、三村秀和、回転楕円X線集光ミラー用高精度マンドレル作製プロセスの開発、第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、名古屋大学、名古屋市、2013年1月12日~1月14日、14P016
5. 久米健大、武井良憲、三村秀和、高精度電鋳法による回転楕円X線集光ミラーの作製、第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、名古屋大学、名古屋市、2013年1月12日~1月14日、14P015
6. 斎藤貴宏、本山央人、三村秀和、回転楕円X線集光ミラーの形状計測法の開発、第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、名古屋大学、名古屋市、2013年1月12日~1月14日、14P014
7. 本山央人、斎藤貴宏、三村秀和、回転楕円ミラーを用いたX線集光システムの光学設計、第26回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、名古屋大学、名古屋市、2013年1月12日~1月14日、14P013
8. 久米健大、三村秀和、常温・低電流電鋳法によるナノ精度表面転写プロセスの開発、2012年精密工学会秋季大会、九州工業大学、北九州市、2012年9月13日~9月17日
9. 本山央人、斎藤貴宏、三村秀和、回転楕円軟X線集光ミラーにおける形状誤差とアライメント誤差の集光特性への影響、2012年精密工学会秋季大会、九州工業大学、北九州市、2012年9月13日~9月17日、2012年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.413-p414.
10. 武井良憲、三村秀和、ノズル型EEM(Elastic Emission Machining)における100um微小スポット加工の加工特性、2012年精密工学会秋季大会、九州工業大学、北九州市、2012年9月13日~9月17日、2012年度精密工学会秋季大会学術講演論文集p.413-p414.
11. 三村秀和、ナノ精度表面製造プロセスの構築とX線ミラーへの展開、第63回ELID研削研究会、2012年7月27日 (依頼講演)
12. 三村秀和、スティッチング干渉計および位相回復法によるX線集光ミラーの超精密形状計測、オプトメカトロニクス協会、光部品生産技術部会、2012年5月28日 (依頼講演)
13. 三村秀和、ナノ精度表面製造プロセスの構築と次世代X線ミラーの開発、静岡大学「第27回GRL浜松セミナ-」 静岡大学、浜松市、2012年5月14日 (依頼講演)


2011年度 (2011年4月1日~2012年3月31日)
[研究論文(査読あり)]
1. H. Mimura, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi, Surface replication with one-nanometer-level smoothness by a nickel electroforming process, International Journal of Electrical Machining, 16, 21-25, 2011.
2. H. Mimura, H. Ishikura, S. Matsuyama, Y. Sano, K. Yamauchi, Electroforming for replicating nanometer-level smooth surface, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 11 , 2886-2889, 2011.
3. H. Mimura, T. Kimura, H. Yumoto, H. Yokoyama, H. Nakamori , S. Matsuyama, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa, K. Yamauchi a, One dimensionalsub 10-nm hard X-ray focusing using laterally graded multilayer mirror, Nuclear Instruments and Methods in Physics Reserch A , 635, (1) , 16-18, 2011.

[国際会議発表]
1. H. Mimura, H. Ohmori, K. Yamauchi, Development of Focusing System for X-ray Free Electron Laser, ASPEN2011 (4th International Conference of Asian Society for Precision Engneering and Nanotechnology), Hong Kong, China, 16-18 Nomvember, 2011.(Best Paper Award)
2. H. Mimura, Micro- and Nano- Focusing System for Japanese XFEL, SPIE Optics and Photonics Annual Conferense (SPIE 2011), SanDiego, USA, 11th August 2011. (Invited)

[国内会議発表]
1. 齋藤貴宏、三村 秀和、位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測 -光学設計と理論的検討-、2012年度精密工学会春季大会、首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市、2012年、3月14日~3月16日、2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1157-p1158.
2. 武井良憲、三村秀和、ノズル型EEM(Elastic Emission Machining)における加工特性の向上、2011年度精密工学会春季学術講演会首都大学東京南大沢キャンパス、八王子市、2012年 3月14日~16日、2012年度精密工学会春季大会学術講演論文集p.1159-p1160.
3. 三村秀和、超高精度X線ミラーの開発と硬X線ナノビーム形成、財団法人 光産業技術振興協会、平成23年度多元技術融合光プロセス研究会第5回研究プログラム「最先端計測・モニタリング技術の現状と将来展望」、産業技術総合研究所 臨海副都心センター別館、2012年、2月16日 (依頼公演)
4. 武井良憲、斎藤貴宏、大森整, 三村秀和、回転体型軟X線集光用高精度マンドレルの作製、第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム、鳥栖市民文化会館、鳥栖市、2012年、1月6日~1月9日
5. 斎藤貴宏、武井良憲、J. R. Fienup, 三村秀和、回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発、第25回日本放射光学会年会、放射光科学シンポジウム、鳥栖市民文化会館、鳥栖市、2012年、1月6日~1月9日